低溫氧化脫硝主要是利用臭氧的強氧化性，將不可溶的低價態氮氧化物氧化為可溶的高價態氮氧化物，然后在洗滌塔內將氮氧化物吸收，達到脫除的目的。該脫硝系統在不同的 NOx 等污染物濃度和比例下，可以同時高效率脫除煙氣中的 NOx、二氧化硫和顆粒物等污染物，同時還不影響其他污染物控制技術，是傳統脫硝技術的一個高效補充或替代技術。
　　按照O3對于NOx復雜的氧化反應過程，實際上zui后通過 N 的價態變化體現出來，
　　低溫氧化脫硝主要的反應如下：
　　2NO + 3O3 = N2O5 + 3O2
　　2N02 + O3 = N2 O5 + O2
　　NO + O3 = N O2+ O2
　　與氣相中的其他化學物質如 CO,SOx 等相比，NOx可以很快地被臭氧氧化，這就使得NOx的臭氧氧化具有很高的選擇性。因為氣相中的 NOx 被轉化成溶于水溶液的離子化合物，這就使得氧化反應更加完全，從而不可逆地脫除了NOx,而不產生二次污染。
　　經過氧化反應，加入的臭氧被反應所消耗，過量的臭氧可以在噴淋塔中分解。除了NOx之外，一些重金屬，如汞及其他重金屬污染物也同時被臭氧所氧化。煙氣中高濃度的粉塵或固體顆粒物不會影響到NOx的脫除效率。
　　低溫氧化脫硝可應用于以煤、焦炭、褐煤為燃料的公用工程鍋爐；以燃氣、煤、重油為燃料的工業鍋爐；鉛、鐵礦、鋅/銅，玻璃、水泥加工、生產的各種爐窯；用于處理生物廢料，輪胎及其他工業廢料的燃燒爐；來自于酸洗和化工過程的酸性氣流；催化裂化尾氣；各種市政及工業垃圾焚化爐等。