低溫氧化脫硝系統組成部分分別是臭氧發生系統、等離子凈化裝置、混合反應器、雙氧水系統、雙氧水系統、吸收系統、聯動控制系統、吸收液制備系統以及廢水處理及結晶系統。
　　1、臭氧發生系統：臭氧發生系統由氧氣源、臭氧發生器、電氣控制系統、冷卻水系統組成。氧氣源注入臭氧發生室，在高頻高壓電場內，氧氣轉換成臭氧，經溫度、壓力監測后、控制調節閥，注入混合反應器，與煙氣中的NOx混合反應，將不溶入水的NO氧化成NO2、N2O3、 N2O5等易溶于水的高價態氮氧化物。
　　2、等離子凈化裝置：當煙氣經過等離子煙氣凈化器時，在高壓脈沖電場中，通過前后沿陡峭、脈寬極窄（ns）的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高低溫等離子體，即產生大量高能電子（約5eV）以及極強氧化性能的羥基自由基等高能活性粒子。
　　3、混合反應器：用射流噴嘴均勻注入臭氧，極短的時間內完成混合反應，將煙氣中的NO轉化成高價態的氮氧化物進入吸收塔。
　　4、雙氧水系統：雙氧水系統主要由雙氧水儲罐、雙氧水激活罐、計量泵、噴淋系統等組成。 雙氧水噴淋系統設置在引風機與吸收塔之間，將煙氣中殘余的NO氧化成高價態NOx進入吸收塔。
　　5、吸收系統：吸收系統設備組成：吸收塔、循環泵、PH值檢測罐、操作平臺組成。    :
　　6、聯動控制系統：能夠動態控制臭氧注入量，能夠控制氮氧化物的排放量，避免臭氧逃逸。
　　7、吸收液制備系統：由吊車、振動器、前置料斗、負壓吸風機、粉塵過濾器、熟化罐、Mg（OH）2儲槽、Mg（OH）2輸送泵、Mg（OH）2漿泵等組成。MgO在熟化罐中經過事先設定的熟化程序后得到Mg（OH）2溶液。通過Mg（OH）2溶液輸送泵打入儲槽備用。由自動化系統控制Mg（OH）2漿泵將Mg（OH）2溶液補充到脫硫循環系統中。配置和輸送流程完成后，通過程序自動控制對熟化罐、輸送泵、輸送管道進行及時清洗，避免Mg（OH）2 溶液產生沉積或堵塞。
　　8、廢水處理及結晶系統：由緩沖池、壓濾系統、精濾系統、氧化塔、氧化曝氣風機和蒸發器等組成。脫硫循環水進入緩沖池，經壓濾泵打入壓濾機中進行壓濾，固態物與煤灰一起處理，清液進緩沖罐中儲存，再經過濾器離心泵打入過濾器進行過濾，過濾后的水進入蒸發器蒸發結晶，固態物為七水硫酸鎂晶體，蒸發水冷卻之后回流到循環系統中繼續使用。